客户背景
国内领先逻辑代工厂，计划将STT-MRAM作为22nm节点的嵌入式存储方案，需建立完整的晶圆级测试能力。
挑战
• 工艺开发阶段需快速获取器件关键参数分布（Tpulse, TMR, Hc, σ）
• 传统探针台+示波器方案测试效率低，无法满足DOE需求
• 缺乏磁存储专用失效分析手段
极渺方案
部署12英寸全自动化测试平台，集成晶圆map自动化生成、多温度节点测试与统计Yield分析模块。
成果
• 单晶圆测试时间从48小时缩短至6小时
• 关键工艺窗口识别周期压缩60%
• 成功通过客户可靠性认证，进入小批量试产